酸化チタン膜及び光触媒膜並びにその作製方法

Titanium dioxide film, photocatalyst film and its production

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To produce a titanium dioxide film having high photocatalytic activity. SOLUTION: When a titanium dioxide film is formed on a substrate by carrying out reactive sputtering using titanium targets in an inert gas contg. a gas having an oxygen molecule, the substrate 7 is disposed by the sputtering space 6 between the targets 2 placed opposite to each other, an opposite target sputtering method is adopted and the volume ratio between the inert gas and gaseous oxygen from the gas having an oxygen molecule is regulated to 2:1 to 1:3. The objective titanium dioxide film consisting essentially of aggregates of anatase type columnar crystals is obtd.
(57)【要約】 【解決手段】 酸素分子を有するガスを含有する不活性 ガス中でチタンターゲットを用いてリアクティブスパッ タリングを行うことにより、基板上に酸化チタン膜を形 成するに当り、上記スパッタリングを、互いに対向する ターゲット間のスパッタ空間の側方に基板を配置し、該 基板上にスパッタ膜を形成する対向ターゲット式スパッ タリング法にて行うと共に、不活性ガスと酸素分子を有 するガスからの酸素ガスとの比率を容積比で2:1〜 1:3として、主としてアナターゼ型柱状結晶の集合体 からなる酸化チタン膜を得る。 【効果】 本発明の酸化チタン膜は、高い光触媒活性を 有しており、また本発明の酸化チタン膜の作製方法によ れば、高い触媒活性を有する酸化チタン光触媒膜を容易 に作製することができる。

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