Electrostatic micro relay

静電マイクロリレー

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低い駆動電圧で駆動でき、所望の接点圧が得 られる静電マイクロリレーを提供することを目的とす る。 【解決手段】 ベース10の上面中央部に固定電極12 を形成するとともに、その周囲に固定接点13を配置す る。一方、前記ベース10の上面に前記アクチュエータ 20の環状枠体であるアンカ21を接合一体化する。さ らに、このアンカ21の上面縁部から延在する薄膜の可 動電極22の下面に、絶縁膜23を介し、前記固定接点 13に接離可能に対向する可動接点24を設けた。
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic microrelay to be driven by a low drive voltage so as to obtain a desired contact pressure. SOLUTION: A base 10 is formed with a fixed electrode 12 at a central part of a top surface thereof, and a fixed contact 13 is arranged in the periphery thereof. On the other hand, an anchor 21 as an annular framework for actuator is bonded to the top surface of the base 10 for integration. A movable contact 24 opposite to the fixed contact 13 is provided in a lower surface of a movable electrode 22 of the thin film, extending from an edge of the top surface of the anchor 21 freely contactable and separably with/from the fixed contact 13. COPYRIGHT: (C)1999,JPO

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    JP-2008517777-AMay 29, 2008コミサリア、ア、レネルジ、アトミクCommissariat A L’Energie Atomique変形可能なブリッジを含むマイクロシステム