ダイヤモンド基板及びダイヤモンド基板の評価方法並びにダイヤモンド表面弾性波フィルタ

Diamond substrate, evaluation of diamond substrate and diamond surface acoustic wave filter

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダイヤモンドの上に圧電体、櫛形電極を形成 した表面弾性波フィルタは高い周波数信号を扱えるがダ イヤモンド表面の微小な欠陥の為に伝達損失が大きい。 ダイヤモンド表面の評価は顕微鏡によっていたので時間 が掛かる。大面積の評価ができる方法をあたえその方法 によって表面弾性波フィルタに適するダイヤモンド品質 を定義する。 【解決手段】 ダイヤモンドの上に薄い金属膜を被覆し レーザ走査型表面欠陥装置によって斜めから検査光を照 射し散乱光の強度から欠陥の存在を求める。表面欠陥数 300個/cm 2 以下であるダイヤモンドを使用する。 好ましくは表面粗さRaが20nm以下であるものを選 ぶ。そのようなダイヤモンドの上に圧電体膜、櫛形電極 を形成することによって伝達損失の小さい表面弾性波フ ィルタを作る事ができる。
PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce transmission loss by applying thin coating material onto diamond surface, exposing inspection light thereon, reflecting the inspection light on coating material surface and the boundary between the coating material and the diamond, measuring the scattered inspection light by surface defect and keeping the obtained surface discontinuity density to a specific value or below. SOLUTION: A diamond film having >=1 μm thickness, >=19 cm<2> area, <=1.5×10<8> Pa and <=±40 μm warping is formed on an Si substrate having 0-2,000 μm thickness. Then, the diamond film is polished and made flat by electrodepositing grinding stone so as to have <=10 nm surface roughness Rc and a metal material having high reflectivity, e.g. Al is subjected to vapor deposition to form a film having <=100 nm thickness and the film is inspected by a laser scanning type surface discontinuity inspecting apparatus to provide a diamond film having <=300 numbers/cm<2> surface discontinuity density. Piezoelectric thin film of ZnO or the like is subjected to vapor deposition onto the passed substrate and comb-shaped electrode is further formed thereon to provide the objective surface acoustic wave element.

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    US-6906451-B2June 14, 2005Murata Manufacturing Co., Ltd.Piezoelectric resonator, piezoelectric filter, duplexer, communication apparatus, and method for manufacturing piezoelectric resonator
    US-7240410-B2July 10, 2007Murata Manufacturing Co., Ltd.Method for manufacturing a piezoelectric resonator